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一“ 聚”兩得,模塊式雙視顯微鏡

時(shí)間:2024-10-08 點(diǎn)擊次數(shù):327
在針對(duì)半導(dǎo)體芯片、微孔板(Well-plate)、薄膜晶體管(TFT)、細(xì)胞微孔板(Well-plate)等目標(biāo)物進(jìn)行檢測(cè)時(shí),這些目標(biāo)的中心和邊緣呈規(guī)律分布,我們有時(shí)既要對(duì)中心微小區(qū)域進(jìn)行觀察/檢測(cè),也要對(duì)外圍的大區(qū)域進(jìn)行觀察/檢測(cè):

中心-外圍邊緣的檢測(cè)場(chǎng)景

檢測(cè)半導(dǎo)體芯片(晶片)封裝工藝時(shí),可能既需要對(duì)位于中心的芯片線(xiàn)路進(jìn)行檢測(cè),同時(shí)也需要對(duì)芯片外圍的引線(xiàn)進(jìn)行檢測(cè);

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精密定位/對(duì)位(alignment)時(shí),視野太小,不好找準(zhǔn)位置,這時(shí)如果光學(xué)系統(tǒng)能同時(shí)用小倍數(shù)觀察大視野,快速找到位置點(diǎn),同時(shí)又能用高倍數(shù)對(duì)定位標(biāo)記(alignment mark) 觀察小視野,就能提高定位精度。

QQ截圖20241008150207.png

生物成像的某些應(yīng)用中,可能需要用大視野針對(duì)某個(gè)區(qū)域進(jìn)行成像,同時(shí)需要利用大倍數(shù)對(duì)某個(gè)小區(qū)域內(nèi)的細(xì)節(jié)進(jìn)行分析。

QQ截圖20241008150207.png

像上述這些,需要在同一個(gè)樣品上實(shí)現(xiàn)大視野和小視野同時(shí)成像的應(yīng)用,傳統(tǒng)的解決方案是通過(guò)切換鏡頭的大小倍率,并在切換倍率后,重新聚焦來(lái)實(shí)現(xiàn)大視野和小視野的成像。 
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有沒(méi)有能同時(shí)獲得大小兩個(gè)視野,兩種放大倍數(shù),而且無(wú)需再次聚焦的鏡頭?

模塊式 雙視顯微鏡頭



我們?yōu)樯鲜鰬?yīng)用設(shè)計(jì)和制造了多種形態(tài)的分光裝置,將其集成到模塊式顯微成像光路中的不同位置,即可組成多種結(jié)構(gòu)的雙光路,雙視野的成像系統(tǒng):

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雙視系統(tǒng)可以?xún)蓚€(gè)光路都是同樣的倍數(shù),不同波段;也可以?xún)蓚€(gè)光路是不同倍數(shù),不同視野;或者兩個(gè)光路在變倍/定倍、手動(dòng)/電動(dòng)之間任意選擇。如果需要,也可搭建成多光路,多視野的成像系統(tǒng)。

該系統(tǒng)最重要的一個(gè)特點(diǎn)就是無(wú)需多次聚焦即可對(duì)某個(gè)區(qū)域?qū)崿F(xiàn)不同倍數(shù)或者不同波段的成像。 

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在同一個(gè)雙視系統(tǒng)中,可根據(jù)具體的成像需求,集成
  • 可見(jiàn)光VIS,可見(jiàn)光-近紅外(VIS-NIR),短波紅外(SWIR) 多種增透鍍膜鏡筒;
  • 復(fù)消色差,消像差,無(wú)限校正光路設(shè)計(jì),0.55x, 0.8x, 1x, 1.1x, 1.6x, 2x 定倍鏡筒;

  • 或0.64x~ 4.5x、0.58x~7x 、0.7x~4.5x連續(xù)變倍鏡筒,手動(dòng)和自動(dòng)變倍可選;

  • 可根據(jù)應(yīng)用需要,搭配不同品牌、不同倍數(shù)的物鏡(2x、4x、 5x、 6x、 10x、 20x、 50x);

  • 可選1/2” 到32mm或以上尺寸相機(jī)傳感器

只需要一次聚焦,即可獲得同一中心區(qū)域的雙波段/雙視野的兩個(gè)圖像,大視野針對(duì)全局成像,小視野表征關(guān)鍵細(xì)節(jié):

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除以上正置、平行、轉(zhuǎn)角雙視模塊外,還可以根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的安裝和應(yīng)用環(huán)境對(duì)鏡頭結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整,比如:采取倒置,或其他安裝形態(tài),或在光路中加入偏光、濾片轉(zhuǎn)輪、自動(dòng)聚焦機(jī)構(gòu)等功能模塊等等。


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